產品名稱：SIGMA KOKI壓電輔助平臺TADC-602WSPA

產品型號：TADC-602WSPA

產品介紹

XY 軸載物臺，通過在手動載物臺上添加壓電輔助機構，可以進行 20nm 或更小的微調。 非常適合需要高分辨率位置調整的手動平臺單元和系統�？商峁� 25x25、40x40、60x60mm 的載物臺尺寸。

注：

安裝載物臺時，請注意不要讓千分尺支架受到震動。 否則，壓電輔助機構可能會損壞。

壓電輔助專用控制器（PASC）的電源關閉時，壓電輔助的位置調整將改變，微調位置將移動。

性能特點

l 壓電輔助平臺的專用控制器無需任何設置即可輕松進行微調。

l 表盤式旋鈕的微調即使與測微頭結合使用也可以毫無阻力地使用。

l 使用壓電輔助控制器（PASC）調整微調機構。壓電輔助平臺隨附一根壓電輔助控制器連接電纜 (2m)。

技術參數

載物臺尺寸 [mm]：60×60

行程軸：XY 軸

粗調行程 [mm]：±6.5

精細驅動行程 [μm]：>30μm

千分尺位置：側面

行程/旋轉 [mm] ：0.5

千分尺可讀分辨率 [mm] ：0.01

壓電分辨率：<20nm

導向方式：延伸接觸球軸承導向

主要材料：鋁

涂層：黑色陽極氧化

負載能力 [N] ：49(5kgf)

行程精度/直線度 [μm] ：3

力矩容量max.：

間距 [N?m] ：4.9

滾動 [N?m] ：4.9

偏航 [N?m] ：4.9

力矩剛度

間距 [″/N·cm] ：0.6

滾動 [″/N?cm] ：0.6

平行度 [μm] ：50

正交性 [μm] ：10

運行平行度 [μm] ：20

重量 [kg] ：0.5