產品名稱：AE-波形發生器-EVOS LE

產品型號：EVOS LE

產品介紹：eVoS LE 是一種不對稱偏置波形發生器，旨在實現對基于等離子體的蝕刻和沉積工藝中的晶圓表面電壓和產生的離子力量分布 (IED) 的直接控制。 eVoS 系統由一個雙向電壓源和一個獨立的電流源組成，用于建立和控制晶圓表面電位。 eVoS 的非對稱輸出去除了正弦射頻偏置應用固有的晶圓偏置限制和限制。 快速數字計量和新穎的控制算法能夠生產近乎單能的 IED。

性能特點：

具有同步所需輸入和輸出信號的脈沖能力

集成設計和緊湊的尺寸無需匹配網絡

高速計量提供實時偏置電壓和離子電流反饋

適用于標準腔室接口

實現對晶圓偏置電壓和由此產生的離子力量的直接控制

通過使用“正確的功率”來減少功率，只提供有用的離子力量

與 RF 偏置方法相比，獲得增強的離子力量選擇/區分