產品名稱：PALOMAR高真空爐3150
產品型號：3150
產品介紹：
3150高真空爐封裝采用非常低的真空和濕度水平密封，以延長長期性能。提供低至 10-7 Torr 的真空度和高達 500°C（可選 1000°C）的溫度。潔凈室兼容系統還可配置為允許蓋子和封裝的原位分離、吸氣劑燒制和MEMS封裝的密封。使用渦輪分子阻力泵來有效泵送氫氣分子。對于需要很低水平殘留水蒸氣的工藝，可以將可選的低溫水泵添加到系統中。
性能特點：
?高真空能力
?可選的低溫水泵
?渦輪分子泵
?壓力為12 psig
?自動線性運動階段
?電阻石墨熱系統
?專有運行分析儀軟件
?自動溫度和壓力控制
?分布式邏輯控制系統
?原位熱量激活
?所有配置文件運行的實時繪圖
?溫度高達1000°C（可選）
參數：
?工作溫度范圍：室溫至500°C（1000°C選項）
?熱工作區：25“ 2（160 cm2）
?min真空水平：<1 x 10-7托爾（1.3 x 10-7 mbar）
?max室內氣PSI：15 psig（1.8 bar）
?室深度：12英寸（305毫米）
?工作表面高度：37英寸（95厘米）可調
?需要壓縮空氣：90 psig（7 bar）
?冷卻方法：可編程氮氣清洗
?加熱方法：可移動的電阻石墨夾具
?工藝氣體（三個輸入）：需要N2，（AR，HE，形成氣體可選） @ 90psig（7 bar）min壓力
?尺寸（w x d x h）：94“ x 43” x 54“（238 x 109 x 137 cm）
?體重：1800磅（816公斤）
?電氣：208-240伏，60安培，50/60 Hz，1階段，7.3千瓦平均值，13.2千瓦峰
?真空泵類型：渦輪分子阻力（可選的低溫水泵）
?冷卻水：2 GPM（8 lpm） @ 20-25°C，2千瓦的容量min