Leybold 萊寶TW220/150/15渦輪分子泵維修，Oerlikon萊寶TW220/150/15是特殊專用分流的渦輪泵，Leybold TW220/150/15三入口能同時抽取三個腔體的真空，，分別抽速可達到220 L/s /150L/s /15 L/s，轉速為45000rpm，對應的控制器為： Leybold  TDS。