德國原產萊寶Oerlikon Lerbold Vacuum TURBOVAC TW 290/20/20 UHV渦輪增壓真空分子泵+TURBO.DRIVE TD400驅動電源模塊
leybold tw 290/20/20- uhv是德國萊寶為質譜儀專門設計的一款分流泵,不同于 Leybold TW220/15,Leybold TW220/15速為能
同時抽取兩個腔體的真空,對應的流量分別為220L/s, 150L/s,Leybold tw 290/20/20-uhv Turbo Pump 能同時抽取三個腔體的真空,
Leybold tw 290/20/20-uhv Turbo Pu對應三個腔體的真空流量分別為290L/min, 20L/min, 20L/min