廣州潽拓光電科技有限公司維修Seiko Seiki精工精機全系列分子泵。Seiko Seiki STP-H1301L/STP-H1301C日本精工精機磁懸浮分子泵進氣法蘭口VG200/ISO200F，出氣法蘭口KF40，抽速可達到1300 L/s，轉速為32500rpm，極限壓力10-6Pa (10-8Torr)，Seiko Seiki STP-H1301C TURBO pump對應的控制器為：Seiko Seiki SCU-H1301C。

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