技術數據
入口法蘭 DN63ISO-K、DN63CF、DN40NW 或 DN100ISO-K
抽速 ISO63/63CF (DN40NW)(ISO100)
N2 61 ls-1 (42 ls-1) (66 ls-1)
He 57 ls-1 (49 ls-1) (59 ls-1)
H2 53 ls-1 (48 ls-1) (54 ls-1)
壓縮比
N2 >1 × 1011
He 1 x 106
H2 5 x 104
極限壓力 (mbar)
帶有 RV 前級泵 ISO/CF <5 x 10-9 / 5 x 10-10
帶有隔膜前級泵 ISO/CF <5 x 10-8 / 5 x 10-9
出口法蘭 DN16NW
推薦前級泵* RV5/nXDS5i
排氣口 1/8 英寸 BSP
吹掃口 1/8 英寸 BSP
最大連續進氣口壓力（輕氣體泵送）?
水冷卻（15 °C 水，40 °C 環境溫度） 2 × 10-2 mbar
強制空氣冷卻，35°C 環境溫度 1 × 10-2 mbar
泵旋轉速度
標稱旋轉速度 90000 rpm
待機旋轉速度 在 49500 至 90000 rpm 之間變化
（63000 rpm 默認）
可編程功率限制設置 可在 50 至 120 W 之間變化（默認為 80 W）
到 90% 速度的啟動時間 110 s ?
模擬輸出 轉速；
功耗；泵溫度；控制器溫度
冷卻方法# 強制空氣/水
強制空氣冷卻的環境空氣溫度 5 - 35 °C
zui小冷卻水流速（15 °C 的水） 15 l h-1
水溫范圍 10 - 20 °C
zui高入口法蘭溫度 100 °C
操作姿態 垂直且豎直，直到
水平
1 米處的噪音級別 <50 dB(A)
泵可以承受的最da磁場 5 mT
推薦控制器 TIC100 分子泵和儀器控制器
靜止電功率 10 W
