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直線運動定位精度一般都在機床和工作臺空載條件下進行。按國家標準和國際標準化組織的規定(ISO標準)，對數控機床的檢測，應以激光測量為準。在沒有激光干涉儀的情況下，對于一般用戶來說也可以用標準刻度尺，配以光學讀數顯微鏡進行比較測量。但是，測量儀器精度必須比被測的精度高1~2個等級。
為了反映出多次定位中的全部誤差，ISO標準規定每一個定位點按五次測量數據算平均值和散差-3散差帶構成的定位點散差帶。
2、直線運動重復定位精度檢測
檢測用的儀器與檢測定位精度所用的相同。一般檢測方法是在靠近各坐標行程中點及兩端的任意三個位置進行測量，每個位置用快速移動定位，在相同條件下重復7次定位，測出停止位置數值并求出讀數最大差值。以三個位置中最大一個差值的二分之一，附上正負符號，作為該坐標的重復定位精度，它是反映軸運動精度穩定性的最基本指標。
3、直線運動的原點返回精度檢測
原點返回精度，實質上是該坐標軸上一個特殊點的重復定位精度，因此它的檢測方法完全與重復定位精度相同。
4、直線運動的反向誤差檢測
直線運動的反向誤差，也叫失動量，它包括該坐標軸進給傳動鏈上驅動部位(如伺服電動機、伺趿液壓馬達和步進電動機等)的反向死區，各機械運動傳動副的反向間隙和彈性變形等誤差的綜合反映。誤差越大，則定位精度和重復定位精度也越低。
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