傳遞窗及周轉車使用注意事項
• 當硅片要經過傳遞窗傳送時,確保傳遞窗另一邊已關閉。將片盒從傳遞窗取出或放入后應迅速關閉傳遞窗,并注意將傳遞窗上的扣鎖扣緊。
• 傳遞窗不使用時保持密封關閉。除片盒和跟蹤單以外的任何物品不允許通過傳遞窗來傳遞。
• 工藝停止運行如換石英管或設備出故障時,周轉車的門要關閉。
• 每班在工作的時間內,至少用IPA擦洗1次周轉車,使其放片盒處保持潔凈無灰塵。
• 雙手須戴潔凈、無汗跡的乳膠手套。
• 缷下的硅片裝滿承載盒后及時蓋上盒蓋。
• 每班班前換干凈的真空吸筆。
• 六排電池片每一排都要抽檢一片電池片,如發現嚴重色差片,要及時挑出,并且要全部檢查這一框電池片。
• 石墨框上不能有碎片等雜物(標記片除外)。
• 進料臺、出料臺處的片盒、承載盒以及記錄本等物品擺放要整齊。
• 設備蓋板上保持整潔,無明顯的灰塵、雜物。
• 地面保持干凈整潔,無碎片、SiN顆粒等雜物。
• 下班前30分鐘打掃進料臺、出料臺處及設備周圍的的衛生。
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