輸配管道潔凈技術的一般概念9 T8 f6 g& l& R/ q R
高純、潔凈氣體體輸送配管道，是指對輸送氣體的“三度”有一定的要求或控制。
氣體純度：氣體中雜質氣氛的含量，通常用氣體純度的百分數來表示，如99.9999%,也用雜質氣氛含量的體積比ppm 、ppb、 ppt表示。
干燥度：氣體中微量水分的含量，或稱之為濕量，通常以露點表示，如常壓露點-70℃。
潔凈度：氣體中含有污染物粒子的數量，粒徑為µm的粒子，多少粒/M3 來表示，對于壓縮空氣，通常也用不可避免的固體殘留物的多少mg/m3來表示，其中涵蓋了含油量。 |# N8 e; v: W. E0 y
污染物大小分類：污染物粒子，主要指管道沖刷、磨損、腐蝕產生的金屬粒子、大氣煙塵粒子，以及微生物、噬菌體以及含濕氣體凝聚的液滴等，按其粒徑的大小分為：! Z) A' ]( ?6 f m7 g; [
a)大粒子—粒徑在5μm以上4 N. X Z& j1 B, P5 y2 m- w
b)粒子—料徑在0.1μm-5μm之間" }5 F' d# a ?: Q8 q
c)超微粒子—粒徑小于0.1μm。