潔凈室潔凈度之維持和控制，除了硬設備之配合投資外，也需要良好的軟件——管理制度來搭配，方能維持良好的潔凈度。無塵室內之微污染來源，經測試分析結果，作業人員占約80%。實驗數據顯示，作業人員進出無塵室時塵埃有顯著增加，有人動作時，潔凈度馬上劣化，可見潔凈度劣化之原因人是主要因素。

　　潔凈室的污染源可分為外污染及內污染源。外污染源主要包括空調送風、間隙滲入、建筑物、工作服、風管材料以及一般性氣體如N2、O2、Air、給水、溶劑等；而內污染源則包括制程設備、工作人員、工具、加工制程、隔間材料、工作桌、包裝材料等。

　　對硅芯片而言，微塵粒子之附著將造成集成電路線路的變形或短路，使芯片失去運作功能，因此微污染源的控制已成為無塵室管理的重要環節。表一為自然環境所測得的塵埃濃度，可為設計參考，而在微污染控制，其基本原則有四：

　　1.外部塵埃侵入之防止：

　　無塵室適當之正壓保持（>0.5mmAq），做好施工工程之不漏氣，人員設備、原材料搬入無塵室前先做好清潔擦拭等防塵動作，空氣過濾器適當的管理和設置。

　　2.室內發塵之防止：

　　隔間板、地板等無塵室材料的適當選用、制程設備的發塵抑制、生產自動化及人員不聚集、動作放松、潔凈衣的管理、使用無塵室專用器等。

　　3.室內發塵之不積留：

　　墻壁體應光滑無死角、無塵室需定期保養和清掃、制程設備四周應留有空間。

　　4.發生塵埃之排除：

　　換氣次數應足夠，適當的空間布置以及污染源接排氣和空調的氣流速度須適當。

　　人、物入室的管理問題、實際的作業條件和工程管理關聯之問題、室內之空調及清掃關系之問題，這些問題將于下節祥述。

表1 自然界微塵粒子數