一、“ALARM””燈亮
a.外控保護連接未連通；停電檢查外控保護點及冷卻系統.
b.其他故障

二、點燈失敗
a.最小給定電流值過�。贿m當加大給定電流值.
b.電燈引燃高壓不合適，
c.電極耐壓不夠，電極附近出現打火現象
d.高壓引燃單元壞
e.腔體內去離子水不合格；換掉離子水，檢修去離子
f.燈管老化.