高效空氣過濾器一般稱為HEPA FILTER 和ULPA FILTER也可稱為絕對過濾器 Absolute Air Filter,此類過濾器通常用于終端之位置,其過濾對象為低濃度之微細粒子,且具有級高之捕集效率是維持無塵室內潔凈度最重要的過濾器,其捕集塵埃之原理如下:
濾過原理(Filtration)
擴散捕捉原理(Diffusion)
沖突原理(Impact)或稱慣性原理(Inertia)
濾過原理(Filtration)
塵埃粒子通過濾材時,其大于濾材線維與線維之間距的例子被阻擋,也就是塵埃粒徑大于間距就會有過濾效果。 如下圖所示:
擴散捕捉原理(Diffusion)
粒徑之微塵,由于布朗運動、重力、離子化等原因,在線維表面磨察通過,此時發生靜電,塵埃即會附著于線維上達到捕集作用,其通過濾材風速越低, 粒徑越小,其效果越佳。 如下圖所示:
沖突原理(Impact)
空氣在濾材線維間流動時,因粒子之流動慣性力作用,急速沖擊于線維表面而附著,其通過濾材風速越快,效果越佳。如下圖所示:
整體捕集效率
沖突原理對于微塵粒徑>0.1μm以上者其捕集效率最高;擴散捕捉對于微塵粒徑≦0.05μm 以下之粒子具有較高之效率;而濾過原理則在三種捕集原理中,其捕捉之效率較低。
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