無塵室檢查內容及報告匯總
一、10內層無塵室位置
該無塵室位于一廠前3,詳細位置見附圖所示。
二、10內層無塵室需求面
1、無塵室等級﹕1萬級
2、溫度需求﹕21±
叁、10內層新無塵室空調施做方式
1、無塵室循環系統介紹﹕
該無塵室經調查原為英建公司設計施做,利用/之高效過濾器效果使無塵室等級在1萬級。無塵空調循環示意圖,詳見附圖所示。
2、控制系統介紹﹕
無塵室控制系統主要分為﹕濕盤管控制及干盤管控制
兩種方式。具體控制原理詳見如下說明﹕
濕盤管(該無塵室采用濕盤管控制)﹕
備注﹕
其原理為﹕把送入無塵室之外氣經過空調箱進行處理達到溫度﹕ 21±2℃; 濕度﹕55 ±5% ,當送入之外氣(溫度﹕ 21±2℃; 濕度需求﹕55 ±5% )由于與室內熱源進行交換后,溫濕度會有所改變。故再利用天花上方之盤管之冷排及熱排進行自動調節,已達到無塵室溫度﹕ 21±2℃; 濕度需求﹕55 ±5% 之需求。
備注﹕
其控制原理為﹕外氣空調箱送入無塵室天花上方空氣之溫度范圍應該為12.5℃到13℃之間,再根據室內熱源之交換在該區間調節,已達最佳效果。
風淋室外氣空調箱單單處理外氣濕度,室內溫度靠盤管控制。
1、10內層新無塵室分兩個單獨之系統進行控制即前
301區域和前313區域。
2、前301區域外氣(空氣過濾器)處理闡述﹕
前301區域外氣處理是由走道上方之四臺﹕(詳見附圖)
額定風量58
冷卻能力54
加熱能力25
加濕能力30/
的空調箱組合送入無塵室,以供給前301區域之排氣、換氣需求!
3、前313區域外氣處理闡述﹕
前313區域外氣處理是由走到上方之兩臺﹕(詳見附圖)
額定風量150 額定風量150
冷卻能力162 冷卻能力142
加熱能力64.6 加熱能力118
加濕能力90/ 加濕能力80/
空調箱組合送風進入前313無塵室區域。
實際送入之風量與額定送入之風量比對表,詳見附件。
1、前301區域天花上方經調查有24臺濕盤管,其規格為﹕
/ 3
冷=16
/ 2
熱=14.1
2、前313區域天花上方經調查有24臺濕盤管,其規格為﹕
/ 3
冷=16
/ 2
熱=14.1
1、前301區域天花上方經調查有129臺高效過濾器/,其規格為﹕
風量﹕15.12
單相 220 50
過濾效率﹕99.994%(0.3之顆粒)
2、前313區域天花上方經調查有130臺/高效空氣過濾器,其規格為﹕
風量﹕15.12
單相 220 50
過濾效率﹕99.994%(0.3之顆粒)
經過對一廠前3 10內層無塵室現狀的調查,發現如下缺失﹕
1、-313-5及-313-6兩臺空調箱未保養致使送風量嚴重不足,前313之無塵室相對外界正壓不足。
2、 -313-5之恆溫、恆濕控制器(型號6421015),由于濾網長期未經保養致使不能正常吸取外氣而被迫吸入走道之腐蝕性氣體,已損壞。
3、 -313-5之四個二通閥門(型號7984),由于第二項目同樣的原因,已損壞。
4、 -313-5前段噴霧加濕的加壓泵浦空轉,無噴水。
5、進入無塵室天花上方的穿墻的地方沒有確實密封,致使未經處理的外氣進入,影響溫濕度及無塵室等級。
針對此次對一廠前3 10無塵室的調查,該無塵室存在溫濕度不正常原因為﹕從該工程施做完成至今已有4年時間,保全單位未對空調箱進行保養所造成,F已/的方式跟催10,讓其務必于2/15日將上述問題全部處理完成,即可保證該無塵室溫濕度在正常范圍。
資料來源:http://www.klcfilter.com 黃貞民-13570963007