無塵室氣體鋼瓶使用操作方法

1.    用把手逆時針打開氣體鋼瓶到底，將【OUTLET】打開PURGE關閉。

2.    由黑色轉鈕調整氣體鋼瓶的壓力(psi)，順時針方向為增加，逆時針方向為減少。

3.    將N2鋼瓶調整為40psi（黃光室內為20psi）,AIR鋼瓶調整為80psi（黃光室內為60psi）。

4.    氣體鋼瓶使用完畢后，用把手順時針關閉氣體鋼瓶到底，將【OUTLET】關閉【PURGE】打開將管路內的氣體排出后將【PURGE】關閉。

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