潔凈室熱蒸鍍機使用操作方法

A.開機步驟

1. 開機器背面的總電源開關。

2. 開冷卻水，需先啟動D.I Water 系統。

3. 開RP，熱機2分鐘。

4. 開三向閥切至F.V的位置，等2分鐘。

5. 開DP，熱機30分鐘(熱機同時即可進行Sample 之清洗與裝載，以節省時間)。

B.裝載

1. 開Vent，進氣之后立刻關閉。

2. 開Chamber。

3.  Loading Sample、Boat及金屬。

4. 以Shutter擋住Sample。

5. 關Chamber，關門時務必注意門是否密合，因機器年久失修，通常須用手壓緊門的右上角。

C.抽真空

1. 初抽

  (1) 三向閥切至R.V位置(最好每隔幾分鐘就切換到F.V一下，以免DP內的幫浦油氣分子擴散進入chamber中)。

  (2) 真空計VAP-5顯示至510-2 torr時三向閥切至F.V，等30秒。

2. 細抽

  (1) M.V ON，記錄時間。

  (2) ION GAUGE ON，壓下Fil 點燃燈絲(需要低於10-3 Torr以下才抽氣完成)。

D.蒸鍍

1. 壓力約210-5 Torr時，開始加入液態氮。

2. 壓力低於210-6 Torr時，記錄壓力及抽氣時間并關掉ION GAUGE。

3.  Heater Power ON (確定Power調整鈕歸零)。

4. 選擇BOAT1 or BOAT2。

5. 蒸鍍開始，注意電流需慢慢增加。

注意:

 ＊ 鍍金時，儀表上電流約100A，鍍Al時電流可稍微小些，約7080A。

＊ 當BOAT高熱發出紅光時，應立即關閉觀景窗，以免金屬附著在觀景窗的玻璃上。

＊ 空鍍幾秒將待鍍金屬表面清乾凈后即可打開Shutter，開始蒸鍍。

 ＊ 蒸鍍完成后，立刻關閉Heater Power，等10~15分鐘讓BOAT冷卻及蒸鍍后的金屬冷卻，避免立即和空氣接觸而氧化，才可vent破真空。

E.破真空

1. Substrate Hold溫度需要降至常溫。

2. ION GAUGE 【POWER】OFF。

3. M.V OFF。

4. DP OFF 冷卻30~60分鐘。

5. 開Vent(進氣后立刻關閉)。

6. 開Chamber，取出Sample及BOAT。

7. 關Chamber，注意將門關緊。

F.關機

1. 關F.V。

2. 開R.V，抽至0.01 Torr之后關閉。

3. 開F.V，30秒后三向閥切至關閉之位置。

4. RP OFF。

5. 關總電源。

6. 關冷卻水。

7. 關氮氣。

注意：

＊ 蒸鍍時，電流應緩慢增大，且不可太大，以免金屬在瞬間大量氣化，使厚度不易控制。

＊ 若接續他人使用，液態氮可少灌一點兒，約三分之一筒即可。

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