潔凈室潔凈度測定的要領書

本測試的目的是為了進行潔凈室在指定區域內的潔凈度是否在規定值以下的確認。

１．測定條件：空態（A條件）

２．測定位置：

(1)潔凈度１０，０００、１００，０００的時候。

　　地板上ＦＬ＋１，２００ｍｍ的位置、原則上是在水平位置每200ｍ２取1點來測定。（1點測３次取平均值）

※參照測定要點平面圖。

３．測定方法

灰塵計量器要采用取樣氣體吸入量多的儀器。（測定對象的粒子直徑是在0.5μm以上）1ft3/min在吸引不可能的情況下、按照1ft3/min來換算。

測定前、為了灰塵計量器的誤差（干擾）的減少，所以灰塵計量器要進行３０ｍｉｎ程度的清掃。清掃實施后如果還會有數個灰塵的存在的話，這個數值為背景干擾值。

測定的次數為３次，然后取其平均值。

測量器要采用散射式微粒子計量器。

４．判定標準　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　單位：個／cf

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