線切割機床半閉環伺服系統的工作原理和閉環伺服系統相似，只是位置檢測器不是安裝在工作臺上，而是安裝在伺服電動機的軸上。這種伺服系統所能達以的精度、速度和動太特性優于開環伺服系統，其復雜性和成本低于閉環伺系統，主要用于大多數中小型數控機床。

    線切割機床閉環控制（closed-loop control system）則是由信號正向通路和反饋通路構成閉合回路的自動控制系統，又稱反饋控制系統。在數控機床中由伺服電動機、比較線路、伺服放大線路、速度檢測器和安裝在工作臺上的位置檢測器組成。這種系統對工作臺實際位移量進行自動檢測并與指令值進行比較，用差值進行控制。這種系統定位精度高，但系統復雜，調試和維修困難，價格較貴，主要用于高精度和大型數控機床。

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